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產品詳情

  • 產品名稱：半導體特氣檢漏儀

  • 產品型號：703
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簡單介紹：
ABC
詳情介紹：
型號：XP-703D 

  （自動吸引式） 

  半導體特氣檢漏儀  

特點：

    ¬       *適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。

    ¬       采用聲光報警。

  規格

型       號

XP-703D

檢測對象氣體

半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）

檢測原理

專線型半導體式

采樣方式

自動吸引式

可檢測濃度

（單位：ppm）

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氫氣

AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2

0.2     0.3     0.1        0.5        1.0

檢測表示

蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍

應答速度

10秒以內

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